1 华侨大学 信息学院，泉州 362021
2 华中科技大学 光电子科学与工程学院，武汉 430074
为了研究适合制作大面积波导的CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术，采用理论模拟和工艺研究的方法，通过建立激光加工模型，得到了激光扫描线的温度分布与加工参量的关系，提出了增加波导侧面陡直性的方法；通过对实验结果的分析，研究了加工参量对波导材料性能、波导结构和表面粗糙度的影响。结果表明，控制激光功率密度、直写速率和光阑位置可以控制波导的宽度、侧面陡直性和表面粗糙度。
光电子学 激光直写 CO2激光 聚合物波导 optoelectronics laser direct writing CO2 laser polymer waveguide
华中科技大学 光电子科学与工程学院，武汉 430074
为了能合成较大分子量的氟化聚酰亚胺光波导材料，采用了几种不同制备工艺，找到了较好的合成大分子量氟化聚酰亚胺的工艺，利用智能傅里叶红外光谱仪测量了合成的氟化聚酰亚胺的红外光谱，证实了材料的结构。为了证实氟化聚酰亚胺可以作为优越的光波导材料，对材料做了热重分析和差示扫描量热测试，材料在530℃左右才会分解，说明材料具有良好的热稳定性。同时利用薄膜测试仪测试分析了材料折射率与含氟量以及折射率和温度之间的关系。结果表明，折射率与含氟量、温度都呈线性关系。
材料 折射率 棱镜耦合 氟化聚酰亚胺 materials refractive index prism coupling fluorinated polyimide
华中科技大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430074
论述了聚合物纳米孔隙增透膜的制备工艺流程，分析了聚合物材料分子量、实验环境温度和湿度、溶剂挥发性等条件对纳米孔隙增透膜的影响。研究表明，聚合物材料分子量的增大、温度的降低、湿度的升高以及采用挥发性弱的溶剂都将导致增透膜孔隙尺寸的增大，孔隙越大其对光的散射损耗就会增大，所以增透膜的透过率就越低。通过大量的试验分析得出一组较理想的工艺参量：使用低分子量的聚合物材料(小于15 kg/mol)，环境温度大于25 ℃、环境相对湿度小于30%，在采用低沸点的溶剂如四氢呋喃等措施下可有效降低增透膜散射损耗。
薄膜光学 纳米材料 增透膜 纳米孔隙薄膜 制备工艺
华中科技大学激光研究院激光技术国家重点实验室, 湖北 武汉 430074
采用纳米相位分离技术,通过四氢呋喃(THF)同时溶解两种互不相溶的聚合物材料聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)和聚苯乙烯(PS),并充分混合.在旋涂成膜后,用环己脘溶解薄膜中的PS,将其从薄膜中分离出来,从而得到带有特定孔隙的PMMA聚合物薄膜.从实验上研究了不同孔隙率下含有微细孔隙的PMMA薄膜波导的折射率和光传输损耗(632.8nm),并与无孔隙的PMMA薄膜波导的结果进行了比较.
光波导 聚合物 微细孔隙
华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074
讨论了在硅基片上旋涂用于光波导的PS聚合物薄膜时,部分工艺参数,如溶液浓度、旋涂转速、溶剂挥发性、吸水性等对薄膜质量的影响,得到了薄膜厚度随浓度和转速变化的经验公式.分析了造成薄膜缺陷的原因,并对薄膜的性能如薄膜厚度、红外吸收特性和表面轮廓进行了测试.
光波导 薄膜 旋涂 聚合物
