1 安徽财贸职业学院 电子信息系,合肥 230601
2 安徽大学 电子科学与技术学院, 合肥 230039
为了解决光栅制造误差影响莫尔计量精度的问题,运用傅里叶光学理论和坐标变换方法给出了完整的莫尔条纹透光函数表达式，并用线性系统叠加理论对光栅误差函数进行模拟，再用得到的莫尔条纹模型对光栅误差进行仿真，获得了短周期误差和长周期误差的莫尔条纹波形，最后对误差仿真结果进行了分析和验证。结果表明，光栅短周期误差造成莫尔条纹信号波形出现高次谐波干扰，但数字滤波能有效消除其对计量精度的影响，而光栅长周期误差会严重影响光栅检测系统输出精度。
衍射与光栅 误差 莫尔条纹 仿真 傅里叶变换 diffraction and grating error Moiré fringe simulation Fourier transform
安徽大学 电子科学与技术学院,安徽 合肥 230039
由于发光二极管(LED)光束的准直度对光电编码器性能影响很大,研究了LED光束的准直特性。分析了光源辐射角对光栅光通量的影响;运用图像旋转理论和频域分析方法,导出了莫尔条纹透光特性函数式,揭示了光源准直度参数对莫尔条纹函数特性的影响。获得了与光束准直度相关的不同透光缝宽度下的莫尔条纹仿真波形,分析了光源准直特性指标对莫尔条纹对比度以及光栅间隙的影响。理论计算结果表明,当透光缝宽度减小5 μm时,莫尔条纹图像的对比度下降17.66％,实验结果与理论仿真波形吻合,表明文中提出的莫尔条纹函数式可为高精度和高可靠性编码器设计和生产提供参考。
光电编码器 发光二极管 光束辐射角 光栅 莫尔条纹 仿真 photoelectric encoder Light Emitting Diode(LED) light beam half angle grating Moiré pattern simulation
1 安徽大学 电子科学与技术学院，合肥 230039；中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成实验室，北京 100029
2 安徽大学 电子科学与技术学院，合肥 230039
3 中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成实验室，北京 100029
对光子筛的结构进行了优化设计，通过实验研究了光子筛对355 nm 激光的聚焦特性，并与传统的聚焦元件波带片进行了比较。首先，使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序，优化设计了光子筛图形；制作了特征尺寸为2 μm、适用于355 nm 激光的聚焦光子筛和波带片；搭建了聚焦光斑的测试光路系统，得到了光子筛和波带片对355 nm 激光的聚焦光斑。通过比较分析，得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论。
衍射光学 光子筛 波带片 聚焦特性 旁瓣抑制 diffraction optics photon sieve zone plate focusing characteristics side lobe suppression
本文介绍了硅片背面激光损伤吸杂实验,用金相显微镜观察证实了高温退火后激光损伤的热稳定性,研究了激光损伤对氧化层错(OSF)和载流子寿命的影响,用中子活化分析法测出了吸杂效果。
激光损伤吸杂 热稳定性 氧化层错 少子寿命 中子活化分析
