1 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家联合重点室,吉林 长春 130012
2 清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
随着人工智能技术的不断发展,激光工业制造的智能化已成为重要趋势。机器学习作为人工智能的主要技术之一,已经在相关领域得到了广泛应用,并促进该领域实现巨大突破,推动下一代激光微纳加工技术的发展。为此,本文综述了机器学习在激光微纳加工领域各工艺过程中的重要应用,包括激光微纳加工参数优化与工艺窗口预测、加工过程的实时监测与控制、加工结果的预测以及辅助物理机制的研究,总结并展望了当前已有的机器学习与激光微纳加工交叉方向的改进方案,以及未来可能出现的机器学习与激光微纳加工交叉技术的进一步应用。
激光技术 光学制造 微纳加工 过程控制 人工智能 机器学习 中国激光
2023, 50(20): 2000001
1 广东正业科技股份有限公司,广东 东莞 523000
2 吉林大学电子科学与工程学院,吉林 长春 130012
针对硬质材料高数值孔径()微透镜阵列制备难的问题,提出一种基于像差的自调制激光加工方法。该方法将飞秒激光聚焦于石英衬底的下表面,能够实现对激光焦点的纵向拉伸,结合氢氟酸溶液湿法刻蚀实现了具有高数值孔径微透镜的制备。结果表明,利用该技术通过改变单脉冲能量能够对微透镜形貌进行调控,在此基础上进一步优化离焦位置,有效地增大了微透镜的数值孔径,制备出达到理论极限(=0.46)的高数值孔径石英微透镜。相对于传统的正面加工方法,所提方法方式不仅提升了微透镜的数值孔径,而且无需复杂的光调制系统,对于高性能硬质材料微透镜阵列的制备与实际应用具有重要的意义。
激光技术 飞秒激光加工 高数值孔径 微透镜阵列 熔融石英 光学学报
2023, 43(16): 1623019
1 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林 长春 130012
2 清华大学精密仪器系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京 100084
3 吉林大学材料科学与工程学院,吉林 长春 130012
面向大数据存储,总结当前冷数据存储的主要方式及特点,针对长寿命和高容量的需求,介绍飞秒激光永久光存储的概念和基本存储内涵;围绕透明介质材料体内改性的类型,依次介绍三维光存储和五维光存储的历史发展过程;阐述了当前具有双折射特性的存储单元形成机制,超百层的高密度存储技术,225 kB/s单通道、潜在MB/s多通道的快速直写机制;并从纳米区域的电场连续性边界条件和光学衍射极限出发,展望飞秒激光永久光存储在存储容量和写入速度方面的挑战。
光电器件加工 飞秒激光 激光材料加工 光与物质相互作用 光存储 纳米光栅 中国激光
2022, 49(10): 1002504
1 广东省科学院中乌焊接研究所 中国-乌克兰材料连接与先进制造“一带一路”联合实验室 广东省现代焊接技术重点实验室, 广州50650
2 吉林大学 电子科学与工程学院 集成光电子国家重点实验室, 长春13001
利用飞秒激光辅助刻蚀技术,在蓝宝石表面实现了周期、占空比及高度可调的光栅结构。解决了飞秒激光加工硬脆材料时表面质量较差、碎屑堆积导致的加工精度降低和难以制备深结构的问题。蓝宝石光栅结构的粗糙度从78 nm(激光直写后)降低到了7 nm(干法刻蚀后),实现了周期为800 nm光栅,以及深宽比为4的蓝宝石微结构的制备。飞秒激光辅助刻蚀技术能够制备蓝宝石表面高平滑光栅,并对光栅各级次衍射效率进行提升。
飞秒激光 蓝宝石 湿法刻蚀 干法刻蚀 光栅 Femtosecond laser Sapphire Wet etching Dry etching Grating
1960年,梅曼博士研制出红宝石激光器。经过60年的发展,激光在社会生活的各个领域发挥着重要的作用,成为日常生活、工业生产、应用研究中的重要工具。激光加工技术是指通过激光与物质的相互作用,改变材料的物态、成分、组织、应力等性质的技术,具有应用对象广泛、非接触加工、尺寸控制能力强、无污染等特点。典型的激光加工技术包括激光去除加工、激光焊接、激光表面改性、激光3D打印、激光复合加工等。目前,激光加工技术已应用于**、航天、信息、生物医疗等领域。
激光与光电子学进展
2020, 57(11): 111400