1 电子科技大学 光电信息学院， 成都 610054
2 成都言伯科技有限公司，成都 610031
针对用于制备非晶硅薄膜的PECVD设备反应室的流体场进行了模拟仿真，并实验制备了相对应条件下的非晶硅薄膜，利用台阶仪完成了对薄膜厚度的测量，对比仿真结果，发现薄膜的厚度分布情况与基片表面附近的气流分布情况密切相关，获得均匀性优于2.5%非晶硅薄膜。
非晶硅薄膜 均匀性 amorphous silicon thin film PECVD PECVD uniformity
1 电子科技大学 光电信息学院, 成都 610054
2 成都言伯科技有限公司，成都 610031
利用Matlab软件计算了基于本征吸收的非晶硅薄膜的光谱响应，仿真出由多个不同带隙的薄膜组成的非晶硅薄膜的光谱响应，仿真了薄膜厚度、光学禁带宽度参数对非晶硅薄膜光谱响应的影响，设计出一种渐变带隙的非晶硅薄膜。结果表明渐变带隙的非晶硅薄膜能有效拓宽薄膜的光谱响应范围，也能提高光谱中对各个波长的响应值。
非晶硅薄膜 光谱响应 渐变带隙 amorphous silicon thin film spectral response graded bandgap
华中科技大学,图像信息处理与智能控制教育部重点实验室,湖北,武汉,430074
阐述了嵌入式系统现有的三种互联网接入方案,并在分析和比较各种接入方式的优缺点后,重点介绍了一种新的基于IP2022虚拟外设的TCP/IP智能终端接入技术方案、设计步骤和具有以太网接口的指纹识别智能模块应用实例.实际应用表明:该方案实现可行、设计简单、成本低廉,而且应用软件设计方便.
TCP/IP协议 互联网接入 智能终端 TCP/IP protocol Internet connection Intelligent terminal
电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054
由透过率和波长的函数关系可知,膜系中每一层都可能存在若干波长的光信号会出现极值偏转.利用这些波长作为每层膜的监控波长,满足光电极值法的监控条件,由此提出了一种监控非规整膜系的新方法.这些波长可以通过波长搜索的方法而得出.从监控模拟和随机误差曲线可知,该方法继承了光电极值法简单易行以及自动补偿等优点,其反射率在0.1%范围内变化,与理论曲线基本吻合.
膜厚监控 光学薄膜 真空镀膜 计算机模拟
