北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子实验室, 北京 100022
采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管。对其工作特性进行了分析,测量得到悬臂梁载荷-位移关系曲线,并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量。实验结果表明,在直流电流40 mA,调谐电压范围4～22 V时,波长从974.5 nm蓝移至956.9 nm,室温下波长调谐最大达到17.6 nm。在实验基础上,采用有限元方法对具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的悬臂梁动力学特性进行了研究,模拟结果与实验结果吻合较好。当悬臂梁长度为400 μm时,最大位移达到411 nm,最大调谐电压达到24 V。
光学器件 可调谐微腔光子器件 微光机电系统 悬臂梁 有限元
GaN基LED的表面电流扩展对于器件的特性起着很重要的作用。制作环状N电极的器件在正向电压、总辐射功率、器件老化等特性方面较普通的电极都有很大的提高。通过一系列的实验对环状N电极和普通电极进行了比较，在外加正向电流为20mA时，正向电压减小了6%，总辐射功率也略有提高，工作50小时后，总辐射功率相差8%，验证了环状N电极结构有利于器件电流扩展，减少器件串联电阻，减少了焦耳热的产生，提高了LED电光特性和可靠性。
光电子学 固态照明 环状N电极 总辐射功率 电流扩展 optoelectronics solid state lighting ring-N-electrode current expansion total radiation power
1 北京工业大学光电子实验室, 北京 100022
2 北京长电智源光电子有限公司, 北京 100022
采用一种自对准制造工艺和倒装芯片的装配技术, 研制出GaN基蓝光大功率发光二极管(1mm×1mm)。其光学参数：总辐射功率143.19 mW, 光通量8.86lm, 发光效率7.29lm/W, 峰值波长462nm, 半峰全宽24 nm; 其电学参数：正向电压3.47V、正向电流350 mA。对相关工艺进行了简要讨论。
大功率发光二极管 自对准 倒装
