1 燕山大学电气工程学院, 河北 秦皇岛 066004
2 河北科技大学理学院, 河北 石家庄 050018
设计了一种基于光强调制原理和微机电系统(MEMS)技术的光纤加速度传感器。加速度传感单元为硅质矩形梁,给出了矩形梁弯曲导致的遮光板位移与接收光纤光功率差的关系以及硅质矩形梁中间位置挠度与系统加速度的关系,得到了加速度与光功率差的关系。研究结果表明,设计的光纤加速度传感器在矩形梁中间位置的挠度变化范围为0~10 μm时,相应的加速度测量范围为0~120 m·s
-2,最大加速度检测值高达12g(g为重力加速度)。
光纤光学 加速度传感器 光强调制 光功率差
