清华大学 精密仪器与机械学系 摩擦学国家重点实验室 光子与电子研究中心, 北京 100084
为了有效处理大口径干涉仪测量过程中得到的低分辨率干涉图, 采用一种通过调和处理和3值化等过程的处理方法, 对实验获得的大口径干涉仪无法处理的干涉图进行了相位滤波处理并还原了对应的3维形貌, 同时与传统Goldstein方法处理的结果进行了对比。结果表明, 该方法提高了低分辨率干涉图的可还原性, 为干涉图后续处理提供了有效手段。
图像处理 干涉图 3维形貌还原 相位 image processing interferogram 3-D surface restoration phase
