1 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁 大连 116024
2 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连 116024
为了制作三维金属微结构，研究了UV-LIGA和微细电火花加工技术组合的工艺方法。使用UV-LIGA技术制作了准三维金属微结构,然后，对该微结构进行微细电火花加工制作三维金属微结构。使用提出的方法制作出了局部为梯形凸台和锥形凹槽三维微结构的镍模具,给出了梯形凸台和锥形凹槽的尺寸。分析了微细电火花加工中放电参数对表面粗糙度的影响，在工作电压为65 V，标称电容为100 pF时得到了Ra为0.08 μm的微细电火花加工表面。研究结果表明，使用该方法可实现三维金属微结构的制作;通过减小工作电压和标称电容的方法可降低微细电火花加工的表面粗糙度。
三维金属微结构 微细电火花加工 组合制作 表面粗糙度 3D metal microstructure UV-LIGA UV-LIGA micro Electrical Discharge Mechining(EDM) surface roughness
