设计了一种性能稳定、结构紧凑的光泵浦腔内倍频488 nm半导体薄片激光器。为获得光束质量好、输出性能稳定的488 nm激光器, 利用808 nm LD从顶面垂直泵浦半导体增益介质芯片获得976 nm基频光, 通过在腔内置入I类相位匹配的LBO晶体进行倍频获得488 nm激光输出。半导体增益介质芯片具有13量子阱和808 nm/976 nm双反射带反射镜, 其双面键合金刚石散热片。在泵浦功率为9.2 W时, 获得111 mW 488 nm激光输出, 光谱线宽为1.3 nm, 光-光效率为1.2 %, 光束质量M■■、M■■分别为1.03和1.02, 连续工作3 h激光输出功率不稳定度为0.6%。