1 中国科学院,山西煤炭化学研究所,煤转化国家重点实验室,山西,太原,030001
2 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
通过溶胶-凝胶法,在碱性条件下水解缩聚正硅酸乙酯获得含有SiO2颗粒的溶胶;以甲基三乙氧基硅烷在酸性条件下水解缩聚获得双链聚合物溶液,作为疏水基团的引入剂.用两者的混合物在玻璃片上旋转镀膜.利用光子相干光谱法、透射电子显微镜、小角X射线散射等方法研究了溶胶微结构,利用紫外-可见光谱仪和接触角测定仪测量薄膜的透射率和疏水性.单面反射率最低降至0.01%,对水接触角最高为118°.利用Nd:YAG激光(1 064nm)测量了薄膜的激光损伤阈值,随混合溶胶中双链聚合物含量的增加损伤阈值减小,但均高于20J/cm2(1ns脉冲).由于薄膜既保持了纳米氧化硅薄膜的多孔性,又在颗粒及孔表面以甲基修饰,水对薄膜的浸润能力大大降低,因此薄膜的时间稳定性大大增强,同时也保证了较高的损伤阈值和透射率.
溶胶-凝胶 疏水性 减反射膜 二氧化硅 激光损伤 Sol-gel Hydrophobic Anti-reflectiv film Silica Laser damage
