1 中北大学 电子测试技术重点实验室，山西 太原 030051
2 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原 030051
回音壁模式(Whispering Gallery Mode，WGM)的光学谐振腔作为光学研究的重要工具具有广泛的应用前景。以超纯单晶氟化钙为材料加工了直径为5 mm，厚度为1 mm的CaF2盘型腔，并用化学机械抛光法对其进行了光学抛光,得到了粗糙度为纳米级别的CaF2盘型腔。搭建盘腔与锥形光纤的耦合测试平台测试所加工盘型腔的光学性能，测得在波长为1 550 nm时所加工的盘型腔的品质因数为2.1×106。对CaF2盘型腔损耗机制进行了理论分析，提出了提高CaF2盘型腔品质因数的方法。
光学谐振腔 CaF2盘型腔 光学抛光 粗糙度 品质因数 optical resonator CaF2 disk resonator optical polishing roughness quality factor 红外与激光工程
2015, 44(10): 3049
