作者单位
摘要
福州大学 物理与信息工程学院, 福州350108
针对集成成像视场角狭小的问题,设计并制备了一种柔性圆孔驱动电极控制液晶分子偏转的可弯曲和焦距可调的柔性液晶微透镜阵列。利用光刻技术在柔性ITO基板表面刻蚀并形成规则的圆孔阵列电极,旋涂工艺制备柔性聚酰亚胺(PI)膜层,PI膜层经60℃加热5 min后,再利用等离子体在功率630 W条件下处理5 min固化成PI取向层。利用液晶盒成盒工艺将上、下基板组装成液晶透镜,研究未弯曲和弯曲曲率半径7.5 cm条件下液晶微透镜阵列的光学性能。实验结果表明,所制备的液晶透镜在未弯曲和曲率半径为7.5 cm的情况下均可实现聚焦功能,且液晶微透镜阵列的干涉圆环均匀,聚焦光斑小。在驱动电压3~5.3 Vrms下,弯曲曲率半径为7.5 cm的液晶微透镜阵列焦距可调的范围为0.43~1.05 mm。
液晶 柔性微透镜 可控焦距 弯曲 光学性能 Liquid crystal Flexible micro-lens Controllable focal length Bendable Optical performance 
光子学报
2021, 50(3): 78
作者单位
摘要
福州大学 物理与信息工程学院 平板显示技术国家地方联合工程实验室, 福州 350108
针对传统电极驱动液晶透镜的电场分布在驱动电极边缘的问题, 设计了一种高阻值层驱动电极来控制液晶分子偏转的低压驱动和焦距可调的液晶透镜.利用磁控溅射工艺在含镂空孔阵列的面状铝电极基板表面沉积一层掺铝氧化锌透明薄膜, 形成高阻值层驱动电极; 利用液晶盒成盒工艺将制备好的驱动电极基板和公共电极基板(氧化铟锡玻璃基板)组装成液晶透镜, 研究掺铝氧化锌高阻值层、驱动电压、工作频率对液晶透镜光学性能的影响.实验结果表明, 对比传统电极驱动液晶透镜, 高阻值层电极驱动液晶透镜在驱动电压2.2 Vrms和工作频率130 kHz下获得的干涉圆环均匀, 聚焦光斑小.同时, 在驱动电压1.8~2.8 Vrms和工作频率130 kHz下所制备的液晶透镜焦距可调范围为4.27~2.88 mm.
液晶 低压驱动 高阻值层 驱动电极 可控焦距 Liquid crystal Low-voltage driving High resistance layer Driven-electrodes Controllable focal length 
光子学报
2019, 48(5): 0523001

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