提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法, 在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模, 对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将结果相乘以重构成三维衍射谱。以6°主入射角、45°线偏振光照明及22 nm三维方形接触孔掩模为例, 在入射光方位角0°～90°变化范围内, 相同仿真参数下, 该方法的仿真结果与商用光刻仿真软件Dr.LiTHO的严格仿真结果相比, 图形特征尺寸误差小于0.21 nm, 仿真速度提高约65倍。在上述参数下, 该方法与Dr.LiTHO的域分解方法及基于掩模结构分解法等快速方法相比, 仿真精度和速度均提高1倍以上。该模型无需参数标定, 适用于矩形图形的三维掩模快速仿真。

制备出H3PW12O40/La-N-TiO2催化剂并采用红外光谱， N2吸附-脱附分析， 透射电镜和紫外漫反射进行结构表征。 红外光谱检测表明， 复合催化剂中H3PW12O40保留了Keggin结构； 掺杂La-N之后， 复合催化剂的BET比表面积是母体TiO2的两倍； 透射电镜检测表明， 催化剂由相对均匀的球形颗粒组成， 分散性良好； 紫外漫反射检测表明， 掺杂La和N元素后所制备的复合催化剂对可将光的光响应性能明显提高。 对吡虫啉的光催化实验表明， 所制备的不同负载量催化剂中30%H3PW12O40/0.3%La-1.0%N-TiO2具有最好的光催化活性（≥400 nm），光照3 h后吡虫啉降解率为91.57%， 光照6 h后吡虫啉降解率达98.89%， 基本上完全降解。