1 深圳大学 光电工程学院 光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室, 广东 深圳 518060
2 北京大学深圳研究院 运动控制技术实验室, 广东 深圳 518057
3 华南师范大学 华南先进光电子研究院 光及电磁波研究中心, 广州 510006
基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用, 采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源, 结合透镜阵列照明DMD芯片;同时, 为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响, 采用双远心光路结构将DMD生成的条纹成像到待测表面, 且适用的最小检测面积为1mm2.光学模拟结果表明, 该数字投影系统在被投影表面上的照明均匀性为91%, 投射条纹的对比度高于0.8, 且条纹周期均匀, 为实际应用与后续条纹分析提供了良好保障.
光学投影 表面缺陷 LED照明 数字条纹投影 数字微镜元件 双远心结构 Optical projector Surface defect LED lighting Digital fringe projection Digital Micro-Mirror Device(DMD) Double-telecentric structure
