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Comparison of Poly-Si Thin Films Prepared by Conventional Furnace Annealing and Pulsed Rapid Thermal Annealing
JIN Rui-min 1,2ZHENG Xiao-yan 1CHEN Lan-li 1LUO Peng-hui 1[ ... ]LU Jing-xiao 2
作者单位
摘要
1 Nanyang Institute of Technology, Nanyang 473004, CHN
2 Key Laboratory of Material Physics of the Ministry of Education of China, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
PECVD conventional furnace annealing pulsed rapid thermal annealing 
PDF全文 Full Text
半导体光子学与技术
2009, 15(2): 117
Solid-phase Crystallization of Hydrogenated Amorphous Silicon on Glass Substrates
JIN Rui-min LU Jing-xiao FENG Tuan-hui YANG Shi-e ZHANG Li-wei 
作者单位
摘要
Key Laboratory of Material Physics for Ministry of Education, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, CHN
PECVD A-Si: H film Furnace annealing Rapid thermal annealing Grain size 
PDF全文 Full Text
半导体光子学与技术
2006, 12(1): 15
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