研究了一种结构紧凑型的多级层叠Blumlein纳秒脉冲形成线，从理论上分析了放电时回路各分布参数对层叠Blumlein脉冲形成线输出电压的影响，并利用PSpice模拟验证了各分布参数对层叠Blumlein脉冲形成线输出结果的影响，发现开关的导通电阻是制约输出电压幅值的主要因素，开关的分布电感对输出波形的影响大于负载分布电感的影响，基于时域有限差分法原理，利用XFDTD软件模拟了两级层叠Blumlein线的电磁耦合效应。开展了多级层叠Blumlein脉冲形成线实验，结果表明，基于陶瓷固态传输线和GaAs光导开关的层叠Blumlein脉冲形成线能够实现输出电压叠加，可用于产生ns量级脉宽的脉冲高压。