长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 长春 130022
为了提高GaSb基激光器腔面膜的反射率，根据有关薄膜设计理论并借助薄膜设计软件，设计出激光器腔面膜膜系。使高反膜在2.0~3.5 μm波段的理论反射率高于95%；增透膜在波长为2.5 μm处的理论透射率高于99%。并经过反复实验操作比较了实验与理论设计反射率曲线，结果表明，实验所得反射率能达到实际应用的要求。除此之外，还通过比较各种材料的特性，讨论了薄膜材料的选取。
薄膜设计 GaSb基激光器 激光器腔面膜 薄膜材料 film design GaSb-based lasers laser cavity mask film material 强激光与粒子束
2014, 26(1): 011006
