中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209
采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径φ12mm等能动反射镜制造的关键参数.通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据.
能动反射镜 低频误差 有限元法 补偿 影响函数 Active deformable mirror Low frequency aberration Finite element method Compensation Influence function
