简述了X射线荧光(XRF)分析与微束X射线荧光(MXRF)分析的技术特点、 仪器构成、 应用领域和工作范围。 从准直的微束X射线荧光、 整体X射线荧光与微束X射线荧光组合、 波谱/能谱多功能组合和毛细管X光会聚透镜微束X射线荧光仪器四类仪器评介了中国微束X射线荧光仪器和分析技术的应用与发展。 从分析功能定位和技术发展两方面, 展望了微束X射线荧光技术的发展。 提出将XRF分析中传统的微束原位(微区)XRF(MXRF)分析进一步区分为“微-纳区分析(μ/n-XRF)”和“微-毫区分析(μ/m-XRF)”, 如此区分该项技术及适用范围定位, 对两者原位分析技术的发展都是有益的, 特别也明确定位说明了整体/微区组合仪器的功能和适用范围发展与应用。 作者强调: 原位(微区)分析并非仅为单纯的分析工作, 更重要的在于对被测样品特性的研究与结果解读！ 分析人员和专业科学家的密切合作, 才能充分发挥原位微区分析技术的效能, 充分解读展现分析结果的科学意义。