1 哈尔滨工业大学 精密工程研究所， 哈尔滨 150001
2 哈尔滨工业大学 机电学院， 哈尔滨 150001
针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题，采用等离子体浸没离子注入(PIII)技术对复杂形状的零件进行表面改性，通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析，结果表明，通过对注入元素、剂量和能量的选择，可以大幅度提高材料表面的硬度及耐磨性，并且零件的尺寸精度及表面粗糙度保持性好，充分证明了PIII技术可以在满足颗粒洁净度和有机物洁净度的双重要求条件下，提高运动部件抗摩擦磨损性能，延长微驱动机构的运动精度寿命，是解决终端光学组件中润滑问题的有效途径。
等离子体浸没离子注入 高真空 摩擦磨损 PIII技术 plasma immersion ion implantation high vacuum frictional wear PIII technology 强激光与粒子束
2012, 24(10): 2371
