光学元件的面形精度是评价其是否符合要求的重要指标, 一般使用峰谷PV值作为评价标准, 即元件表面最高点与最低点的差值。PV值在用UA3P检测仪进行测量时具有较大的波动性, 易受环境影响。为更有效地对手机镜片非球面面形精度做出评价, 通过实验检讨了三种评价标准PV、PV20、PVq对真实表面的反映情况, 结果显示PV20、PVq对环境因素相对不敏感, 可以在一定程度上排除脏污点等奇异点对测量结果的不良影响; 同时证明PV20、PVq对检测精度的变化相对不敏感,以及在批次生产中具有较好的评价稳定性。
非球面 面形评价标准 aspheric surface surface evaluation standard peak-to-valley (PV) PV PV20 PV20 PVq PVq
1 成都精密光学工程研究中心， 四川 成都 610091
2 南京理工大学， 江苏 南京 210094
光学元件的表面面形或波前质量一般采用数字指标峰谷值PV(表面最高点和最低点之差)来评价。而两点PV在高分辨率干涉仪的测量结果中具有很大不确定性。为了更准确地评价光学元件的表面面形或波前质量，讨论了针对两点PV进行改进后的评价方式PV20，PVr，PVq。通过模拟实验证明其可以描述真实波面，并在实验中证明其可以消除灰尘等杂点对测量结果带来的干扰，以及这几种评价方式对CCD分辩率的变化不敏感，并发现上述3种方式在测量重复性方面也有较好的表现。
面形评价 surface evaluating PV20 PV20 PVr PVr PVq PVq
