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太赫兹立体相位光栅衍射特性分析下载：541次
杨秋杰 1何志平 1,2,*糜忠良 3
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所，中国科学院空间主动光电重点实验室，上海 200083
2 中国科学院大学，北京 100049
3 上海市现场物证重点实验室，上海 200000
针对太赫兹谱成像对宽光谱、高光能利用率、实时探测分光器件的需求，提出了一种太赫兹立体相位光栅（MPMG）分光器件。MPMG通过刻槽深度的变化引入光程差，实现对入射光的相位调制，从而使反射太赫兹波前的不同区域具有不同的相位信息，其零级衍射光具备分光能力。在分析MPMG衍射场光强分布的基础上，讨论了光栅参数对衍射场分布的影响，并通过实验验证了MPMG的衍射特性。结果表明，MPMG各光栅单元在0.5 THz、0.34 THz的衍射效率理论值与实测值相吻合，证明了MPMG的零级衍射光具备分光能力。
太赫兹 立体相位光栅 夫琅禾费衍射 场分布 THz multi-depth phase modulation grating fraunhofer diffraction field distribution 
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中国光学
2020, 13(3): 605
The Transplant of Technology of Capacitive Displacement Transducer to Phase Modulation Grating-the Research of the Grating with nm Measuring Resolution
Zhang Zengyao 1,*Wang Wei 2Jin Ning 2
作者单位
摘要
1 Metrology Technique Engineering College, China Institute of Metrology, Hang Zhou, P. R. China
2 Information Engineering College, China Institute of Metrology, Hang Zhou, P. R. China
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光学学报
2003, 23(s1): 835
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