氮化硅陶瓷具有耐高温、 耐腐蚀和耐磨损等优异性能, 可应用于金属材料和高分子材料难以胜任的极端工作环境。 但具备这些优良特性的同时也给其加工带来了不便, 传统的磨削加工方法效率低, 设备损耗严重, 激光辅助加工为其提供了一种新途径。 将等离子体光谱法和显微成像法相结合, 对脉冲激光辐照氮化硅陶瓷的损伤阈值进行了测量, 并分析了损伤机理。 实验选用热压烧结氮化硅陶瓷为靶材, 参考ISO21254国际损伤阈值测试标准搭建试验系统, 采用1-on-1法利用Nd3+∶YAG固体脉冲激光分别在纳秒和微秒脉宽下辐照氮化硅陶瓷, 两种脉宽分别选取10个能量密度梯度进行激光辐照, 每个能量密度辐照10个点。 利用光纤光谱仪采集光谱信息, 利用金相显微镜获取显微图像信息, 将光谱结果与显微成像结果对比分析, 发现纳秒脉宽下材料一旦损伤光谱上就会出现等离子体峰, 通过分析光谱中等离子体峰, 元素指认是否含有材料中特征元素即可判断损伤, 为了区别空气电离击穿同时测量了空气等离子体光谱对比分析剔除干扰。 微秒脉宽下显微图像观察到刚开始损伤时, 光谱中只出现较强热辐射谱线并未出现等离子体谱线, 进一步增加激光能量密度, 光谱中会出现少量等离子体峰, 因此不能直接以等离子体峰判断材料损伤阈值。 利用金相显微镜观察损伤形貌, 纳秒脉宽下在损伤区域内部观察到明显的烧蚀冲击状损伤, 光谱呈现出大量等离子体谱线, 说明纳秒激光辐照氮化硅损伤机制主要为等离子体冲击波引起的力学损伤效应。 微秒脉宽在辐照区域边缘发现热烧蚀痕迹, 损伤区内观察到大量熔融物, 出现明显热辐射光谱, 说明微秒激光辐照氮化硅损伤机制主要是由于长脉宽热积累引起的热损伤效应, 随着能量密度增加热辐射谱上叠加有等离子体峰, 等离子体峰值强度与损伤程度一致。 利用零几率损伤阈值法对两种方法测得结果进行了拟合, 分析发现等离子体光谱法更适用于纳秒脉宽下损伤阈值测量, 得到结果为0.256 J·cm-2; 显微成像法适用于微秒脉宽下损伤阈值测量, 得到结果为6.84 J·cm-2。