长春理工大学 光电工程学院, 吉林 长春 130022
太阳模拟器是利用人工光源模拟太阳光辐照的设备, 滤光片作为太阳模拟器中的重要元件, 对其光谱精度要求也越来越高.本文通过建立数学模型, 引入新的评价函数, 设计了0.4~1.1 μm波段五个不同分光要求的阶梯式补偿滤光膜.并在薄膜制备过程中, 应用最小二乘法原理对实验数据进行拟合, 找到了残余蒸镀量与膜层厚度之间的关系, 解决了残余蒸镀对薄膜的光谱影响, 最终制备出的薄膜符合使用要求.
阶梯式 太阳模拟器 评价函数 滤光片 残余蒸镀 Ladder-type Solar simulator Merit function Optical filter Residual deposition amount 光子学报
2017, 46(11): 1123001
