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相同关键词【ZnSe substrate】论文列表

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薄膜

红外短波/长波分色片的研究

章岳光 ^*王颖孙雪铮沈伟东 [ ... ]顾培夫

作者单位

摘要

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州 310027

短波红外/长波红外分色片在红外双波段成像光学系统中起着重要的作用。分析了分色片基板和薄膜材料的选择。选定硒化锌为基板,采用Ge,ZnSe和YbF3作为薄膜材料进行了优化设计,并对沉积温度和蒸发速率等工艺条件进行了优化,用电子束蒸发方法制备了该分色片,其反射率和透射率都达到了93%以上,已成功应用于实际光学系统中。

薄膜光学分色片硒化锌基板红外双波段成像光学系统

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光学学报

2010, 30(2): 597