1 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室， 山西 太原 030051
2 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室， 山西 太原 030051
利用355 nm全固态紫外激光对硼硅玻璃进行了直写刻蚀实验，采用单一变量法探究了激光能量密度、重复频率、扫描速度、扫描间距、扫描次数对刻蚀结果的影响。研究结果表明，激光能量密度过大时，玻璃易发生严重的崩边裂损现象; 等离子体屏蔽效应随激光能量密度的增大而增强，刻蚀深度减小; 随着重复频率的减小，通道边缘碎裂的现象减轻，刻蚀深度增大; 减小扫描间距可有效改善沟道底面的平整度; 刻蚀深度随扫描次数的增多而增大，同时沟道锥度增大。在较优的加工参数下，实现了宽度为84.8 μm，刻蚀深度为178 μm，底面较平整，沟道垂直度达89.580°的L型微通道的直写刻蚀。
激光技术 激光制造 全固态紫外激光 硼硅玻璃 微通道刻蚀
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022
报道了一台激光二极管(LD)侧面抽运Nd:YAG 腔内倍频与和频准连续355 nm紫外激光器。采用双头Q开关调制的LD侧面抽运Nd:YAG激光器，通过在腔内置入I类非临界相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体进行倍频获得532 nm波长准连续激光，置入两块II 类相位匹配的LBO 晶体对基频光和倍频光进行两次和频，从而获得了大功率准连续355 nm紫外激光输出。在注入电功率为939.6 W、重复频率为8 kHz 时，355 nm 激光最大输出功率为15.3 W，脉宽为90 ns，总转换效率为1.63%，其光束质量M2x,M2y分别为4.23和4.56，功率不稳定度为±2.7%。
激光器 全固态紫外激光器 声光调Q 和频 三硼酸锂晶体 激光与光电子学进展
2014, 51(8): 081401
