1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 中国科学院大学, 北京 100049
将半反半透透镜应用于非球面检验。半反半透面和待检验面作为透镜的两个面,空间上相互靠近。半反半透面实现光线自准,同时也对波前进行补偿。这样,既消除了中心遮挡,又可以减小光学系统的尺寸,同时也增强了检验的能力。根据三级像差理论对这一方法进行了推导,进而给出了从待检面的参数得到检验系统参数的方法。根据这一方法设计了一个口径300 mm, 焦 距1200 mm 凸反射镜的检验光路,通过光学设计软件ZEMAX进行优化,优化后系统的波像差小于1/(100 λ), 满足光学检验的要求。
几何光学 非球面辅助光学系统设计 三级像差理论 无像差双焦点 半反半透非球面检验 geometric optics design of aspheric auxiliary optical system third order aberration theory no-aberration double-focus aspheric testing with semi-transmitting lens
