1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 吉林 长春 130033
2 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室， 吉林 长春 130033
阐述了基于相位差异（PD）的波前传感技术的基本原理；仿真分析了PD技术的噪声适应性及探测器离焦误差对精度的影响；利用PD技术的波前传感结果分别辅助装调了离轴、同轴三反光学系统，并分别将多视场的波前图与干涉检验的结果进行对比。实验结果表明，利用PD技术可实现三反光学系统的波前传感及辅助装调。与干涉检验的结果相比，波前传感结果的RMS偏差均优于0.02λ，检测精度满足工程需求。
成像系统 相位差异 波前传感 离轴三反光学系统 同轴三反光学系统 辅助装调
