南京师范大学物理科学与技术学院 江苏省光电技术重点实验室, 江苏 南京 210023
基于一次谐波腔长锁定技术，设计了一种基于法布里珀罗(F-P)腔干涉的强度解调型微位移传感器。系统对F-P腔的初始腔长进行动态锁定，通过将F-P腔腔长的微小变化转化为强度信号，实现直接快速地对待测目标的微位移进行测量。详细地阐述了位移传感器的理论模型及一次谐波锁定F-P腔腔长的技术方案，实验中采用商用的高精度压电陶瓷平移台(PZT)模拟了实际物体的运动状态，实验结果表明，该系统对峰峰值在λ/4(λ为光波波长)以内、频率不高于400 Hz的微位移有很好的测量结果，频率误差小于0.5 Hz，测量精度小于1 nm。
传感器 法布里珀罗干涉 微位移 强度解调 腔长锁定
