作者单位
摘要
南京理工大学 MEMS惯性技术研究中心, 江苏 南京 210094
将遗传算法与低频模型相结合, 提出了一种快捷的驱动电路设计方法, 用于提高低功耗硅微谐振式加速度计模拟驱动电路的瞬态性能, 并缩短设计周期。该方法通过对闭环驱动电路模型进行高低频解耦, 提取闭环驱动电路的低频模型; 将提取的低频模型与遗传算法相结合, 给出完整的优化方法, 得到了满足各项实际约束的最优电路参数。针对某型硅微谐振式加速度计, 建立了SIMULINK低频仿真模型, 根据实际情况制定了约束条件。应用该方法求出了系统启动速度最快的PI控制器的参数, 并对其进行了实验验证。起振实验结果表明, 采用优化参数可使超调量小于50%, 相位误差小于5°, 1%调节时间从优化前的0.42 s减少到优化后的0.19 s, 实验与仿真误差小于5%。得到的结果证明提出的方法正确有效, 具有可实施性。
硅微谐振式加速度计 闭环驱动 遗传算法 非线性系统 silicon resonant accelerometer closed loop driving genetic algorithm nonlinear system 
光学 精密工程
2014, 22(6): 1500

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