常用显微镜、能量色散X射线光谱/扫描电子显微镜等检测熔覆层的微观缺陷。使用这些方法固然能准确地观察裂纹,但是这些技术检测结果的说服力较低。通常以剖面来观察检测,但剖面局部区域并不能代表整个熔覆层的情况,随机性太大且检测区域小,对样品尺寸要求高。为了解决这些问题,利用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术检测熔覆层的微观缺陷。制备了不同含量的TiC/Ni35熔覆样品,熔覆后样品出现不同类型的缺陷。在21 mm×4.2 mm的区域内,获取样品表面的特征光谱,使用排列矩阵的方法得到了区域扫描的结果。结果表明:LIBS技术可用于熔覆层微观缺陷的快速表征,根据评估计算得到4号样件缺陷最多,1号与5号适中,2号和3号最少。