中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
为了提高平行光管分划板的安装精度, 提出一种基于数字干涉仪的平行光管分划板安装方法, 介绍了该安装方法的原理和实施过程。以口径 800 mm, 焦距 20 m的平行光管为例, 分析并计算了该安装方法和已有安装方法的安装精度。结果表明, 该方法对任意分划板的安装精度优于 0.07 mm, 远高于已有安装方法的安装精度。
平行光管 分划板安装 数字干涉仪 collimator reticle installation digital interferometer
数字式激光平面干涉仪是用于测量光学元件面形和无焦光学系统波像差的光学仪器。为了统一数字式激光平面干涉仪测量量值，保证其测量结果的准确性和溯源性，编写数字式激光平面干涉仪校准规范。简要介绍了数字式激光平面干涉仪校准规范的构成，被校仪器的技术指标和校准方法等。
校准规范 数字式干涉仪 平面度测量 calibration specification digital interferometer measurement of planeress
