研究了氟化氢(HF)分子浓度以及工作介质消耗对激光脉冲能量的影响。受激光器内基态HF分子对激光的再吸收以及对激发态分子强弛豫的影响,激光脉冲能量随着激光器内HF分子浓度的升高而明显下降,HF分子浓度每增加1×10 ¹⁵ cm ^-3,激光脉冲能量约下降1.15%。1个激发态HF分子约产生0.8个光子,放电区内SF₆气体的分解率约为1%,单次放电过程中激光器内所消耗的工作介质较少,约为气体总量的1/(2×10 ⁵)。实验结果表明:HF分子浓度对激光脉冲能量的影响较大,介质消耗对激光脉冲能量影响较小;通过在激光器内加入分子筛,可以将HF浓度控制在1.8×10 ¹⁵ cm ^-3的水平。在两个因素的共同影响下,激光脉冲能量下降率约为10%。