华南师范大学 物理与电信工程学院 量子信息技术实验室, 广州 510006
为了准确测量双层透明膜, 有效地结合了模拟退火法和单纯形法的优点, 提出一种模拟退火-单纯形混合算法来处理双层透明膜的椭偏数据。在单波长测量时, 仅测量1组椭偏参量, 可以求解双层透明膜任意两个参量; 测量两组以上椭偏参量, 可以同时反演双层透明膜4个参量, 求解薄膜折射率和厚度精度分别达到0.0002和0.07nm。结果表明,模拟退火-单纯形混合算法反演双层透明膜参量是可行和可靠的, 且有较强的样品适应性。该算法适合于单波长椭偏仪对双层及多层膜的反演及实际测量。
薄膜 椭偏数据处理 双层透明膜 模拟退火-单纯形混合算法 thin films ellipsometric data inversion double transparent films simulated annealing-simplex hybrid algorithm
西安工业大学光电工程学院， 陕西 西安 710032
椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数，需进行数值反演算法近似求解。采用遗传算法，借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想，对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要算子进行了适当改进，改进后算法有效防止了“早熟”现象，并搜索到了全局最优，降低了操作者对拟合模型设定初值的要求。在实践上，通过3种拟合方式的结果对比，得到了可靠的某条件下制备的类金刚石薄膜的光学常数，验证了改进遗传算法在拟合薄膜光学常数中的有效性。
薄膜 类金刚石(DLC)薄膜 光学常数 改进遗传算法 椭偏数据反演 激光与光电子学进展
2011, 48(3): 031201
