1 北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造研究所，北京 100081
2 北京化工大学材料科学与工程学院，北京 100029
飞秒激光液相烧蚀技术具有局部、瞬时、超快、超强等典型极端制造特点，在精密加工和纳米材料合成领域展现了独特优势。然而，飞秒激光液相烧蚀是跨多时间、空间尺度，多物理化学现象耦合的复杂过程，现阶段研究缺乏全面有效手段、对机理理解不足。简要介绍了飞秒激光液相烧蚀的基本过程和相关超快观测技术的发展历程，并进一步总结了超快观测技术在光丝、溶剂化电子、等离子体、气泡演化等过程中的应用。最后总结了飞秒激光液相烧蚀方法、观测和机理研究存在的问题，并基于现有问题对未来飞秒激光液相烧蚀中可能应用的超快观测技术进行了展望。
激光技术 飞秒激光 液相烧蚀 极端制造 泵浦探测 超快动力学 纳米颗粒
1 湖南大学 机械与运载工程学院 国家高效磨削中心，湖南 长沙 410082
2 湖南大学深圳研究院−珑璟光电微纳光学先进制造实验室，广东 深圳 518100
超构表面由二维平面内精心排布的亚波长单元组成，为设计超紧凑型光学元件提供了新的范式，在微型化光学系统方面显示出了极大的潜力。在不到十年时间里，超构表面由于具有超轻、超薄且能够操纵光波的各种参量以实现多功能集成的优势在多学科领域引起了广泛的关注。然而，在光学波段，高自由度、非周期、排列密集的超构单元对其加工制备提出了很多极端的参数要求，如极小尺度、极高精度、高深宽比、难加工材料、跨尺度等，这使得超构表面从实验室走向实际应用面临极大的挑战。文中总结了近些年用于超构表面各类微纳加工方法的各类方法的原理、特点和最新进展，包括小面积直写方法、大面积模板转移方法以及一些新兴的加工方法。最后，针对超构表面在加工方面的目前的挑战和未来的发展趋势进行了总结和展望。
超构表面 微纳加工 极端制造 metasurface micro/nano fabrication extreme manufacturing 红外与激光工程
2020, 49(9): 20201035
