为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导，研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带，经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角晶格空气孔型光子晶体波导结构的TE波禁带，经对比发现归一化频率为0.295 7的缺陷态最适宜用来制备光子晶体波导，并据此设计了用于1.55 μm波长的二维三角晶格空气孔型光子晶体波导，其晶格周期为458 nm，空气孔直径为339 nm。对设计的结构参数进行了容差计算，结果表明误差在-3.95～5.65 nm方能满足设计要求。最后使用聚焦离子束刻蚀工艺，制作了所设计的波导结构，并进行了测试。测试结果表明，样品实际晶格周期为463 nm，空气孔直径为344 nm，比设计值大5 nm，在容差允许范围内，满足设计要求。

利用聚焦离子束(focused ion beam,FIB)刻蚀方法在120 nm厚的金膜上制备了实验测量样品。再用实验的方法测量了在可见光波段及近红外波段的透射曲线,当样品具有相同的晶格常数以及空气孔直径时,环形空气孔结构,不仅具有六重旋转对称性还具有中心对称性,它的最大透射率大约是正方角晶格空气孔的5倍。亚波长环形空气孔结构透射增强峰的在可见光波段,而正方晶格空气孔的透射增强峰在近红外波段,样品的透射强度和透射增强峰的位置各不相同,证明了结构的旋转对称性对透射曲线的影响。