针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差，在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验数据的重复性的均方根可以达到0.14 nm。

在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置，给出其适用范围的基础上，系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差：几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式；对其大小与被测数值孔径(NA)、衍射光会聚点间距d、剪切率s之间的关系进行了定量分析。几何光程彗差和像散、探测器倾斜像散和离焦是剪切干涉差分波前中最主要的误差项，波前重建后主要导致几何光程球差和彗差，探测器倾斜彗差。重建波前误差随着NA、d的增加而迅速增大，随着s的减小而增大。特别是小剪切(s≤0.05)时，波前重建对系统误差有增益效应，重建波前的系统误差值远大于差分波前。小剪切情况下，当d>2 μm、NA>0.1时，重建波前误差的均方根值远大于1 nm。