作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 西安 710119
2 中国科学院大学, 北京 100049
针对飞秒激光振镜加工系统中聚焦透镜焦深短等原因导致微孔加工深度不足的问题,提出了一种基于高损伤阈值空间光调制器加载菲涅尔透镜相位进行焦点轴向调控的加工方法.通过加载不同焦距的菲涅尔透镜相位图,控制焦点以100 μm为间隔进行焦点轴向位移,随着加工深度的增加控制焦点向下移动,并开展了相应的实验加工和测试.实验结果表明,采用该方法在保证高加工质量的前提条件下,在厚度为2 mm的不锈钢样件上实现了直径约为330 μm的微孔加工.该方法开辟了二维振镜系统实现超深微孔加工的新探索,在激光加工领域有较好的应用前景.
高损伤阈值空间光调制器 飞秒激光 微孔加工 相位调制 焦点控制 High damage threshold spatial light modulator Femtosecond laser Laser processing Phase modulation Focus control 
光子学报
2020, 49(8): 0814001
Gang Xia 1,2,3Wei Fan 1,2Dajie Huang 1,2He Cheng 1,2[ ... ]Xiaoqin Wang 1,2,3
Author Affiliations
Abstract
1 Key Laboratory of High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
2 National Laboratory on High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
3 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
In order to improve the damage threshold and enlarge the aperture of a laser beam shaper, photolithographic patterning technology is adopted to design a new type of liquid crystal binary mask. The inherent conductive metal layer of commercial liquid crystal electro-optical spatial light modulators is replaced by azobenzene-based photoalignment layers patterned by noncontact photolithography. Using the azobenzene-based photoalignment layer, a liquid crystal binary mask for beam shaping is fabricated. In addition, the shaping ability, damage threshold, write/erase flexibility and stability of the liquid crystal binary mask are tested. Using a 1 Hz near-IR (1064 nm) laser, the multiple-shot nanosecond damage threshold of the liquid crystal mask is measured to be higher than $15~\text{J}/\text{cm}^{2}$. The damage threshold of the azobenzene-based photoalignment layer is higher than $50~\text{J}/\text{cm}^{2}$ under the same testing conditions.
high damage threshold laser beam shaper liquid crystal photoalignment 
High Power Laser Science and Engineering
2019, 7(1): 010000e9
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院,四川 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所,四川 双流 610209
报道了氟化氘(DF)激光器腔镜的膜系设计、材料选取、制备工艺及其损伤阈值和热畸变测试结果,实验结果表明,镜面在21 kW/cm2功率密度下的热畸变为0.3λ左右(λ=632.8 nm),腔镜的损伤阈值大于40 kW/cm2.
激光技术 DF激光器 薄膜 高反射率 高损伤阈值 热畸变 
中国激光
2004, 31(2): 153
作者单位
摘要
1 四川大学电子信息学院, 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所, 双流 610209
采用ΖnS/YbF3五层膜系结构镀制了CaF2窗口在3.4~4.2 μm波长范围的红外宽带增透膜,光谱测试结果 表明平均透过率在99%以上,该膜层能承受200 kW的激光功率输出。
DF化学激光器 CaF2窗口 宽带增透膜 高损伤阈值 
中国激光
2002, 29(s1): 483

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