西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西 西安 710021
应用于激光陀螺的高反镜在加工安装过程中不可避免地会引入疵病,从而对入射光产生调制作用,引发光散射。为了研究划痕状疵病尺寸发生变化时散射场的变化规律,采用有限元法和多物理场仿真软件建立了高反镜表面截面形状为矩形的单划痕疵病散射模型。通过改变疵病的宽度、深度,分析激光散射场的空间分布变化;用搭建的积分散射测量系统检测不同宽度、深度的疵病,并与仿真结果进行对比。实验结果表明,不同尺寸疵病的散射场变化趋势与仿真结果基本吻合,为高反镜表面疵病的检测工作提供了理论依据和参考。
测量与计量 高反镜 疵病 相关检测技术 积分散射仪 激光与光电子学进展
2021, 58(1): 0112001
1 同济大学 精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室, 上海 200092
3 同济大学 航空航天与力学学院, 上海 200092
参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准, 分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式, 在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量结果, 比较并分析了这4种测量方式之间的差异, 重点研究了R-on-1和光栅扫描测量方式中存在的激光预处理效应对薄膜损伤阈值的影响, 以及辐照激光光斑尺寸与损伤阈值之间的联系, 并讨论了光栅扫描方式中预处理效应与扫描间距和扫描能量密度梯度的关系。研究表明：R-on-1方式下测得的损伤阈值最高, 光栅扫描和1-on-1次之, S-on-1最小；1 000个脉冲激光辐照下的累积效应不显著, 并且在激光光斑尺寸的差异较小时, 阈值与光斑尺寸的对应关系并不明显；光斑尺寸相同时, 扫描光斑的间距越小, 激光预处理效果越好。
高反射薄膜 激光损伤阈值 激光预处理 光斑尺寸 光栅扫描 high-reflection mirror laser induced damage threshold laser conditioning spot size raster scan
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022
从膜层内的驻波场分布和对膜系的相移要求出发,利用倍频的设计思想对氧碘激光腔内45°入射高反射镜进行优化设计,得出了满足对632.8nm和1 315nm双波长高反射,同时在1 315nm处有180°位相延迟的新膜系结构,与传统的设计膜系相比,此膜系大大降低了高折射率层的厚度,薄膜性能有望得到进一步提高.
高反射镜 倍频设计 位相延迟 场强分布 High reflection mirror Multiple frequency design Phase retard Electric field distribution
