中国科学院半导体研究所 光电子应用技术与系统开发组，北京 100083
设计了一种可调制的高稳定度半导体激光器驱动电路。该电路的直流稳定度高达1．5×10－5，输出电流在0～200 mA内连续可调，长时间工作(12 h以上)电流变化小于1μA；在直流基础上注入100 kHz～300 kHz的调制电流，其调制深度为0～100 mA连续可调，可实现在激光干涉测量中对光波频率和光波强度的调制。将该电路驱动的光栅外腔半导体激光器和辅助温度控制电路应用于光干涉测量技术中，得到了功率稳定、波长单一的激光输出，解决了激光器的跳模现象，完成了对远距离微小振动(纳米量级)的测量。
半导体激光器 高稳定度电路 调制深度 干涉测量 semiconductor laser high-stability driver circuit modulation depth interferometry
