王晋峰 1,2,*王烨儒 1,3田杰 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所, 江苏 南京 210042
2 中国科学院天文光学技术重点实验室, 江苏 南京 210042
3 中国科学院大学, 北京 100049
我国将在南极建设2.5 m光学红外望远镜KDUST,为了解决镜面结霜问题,提出了氧化铟锡(ITO)薄膜加热的防霜方法。利用该方法,密封透射结构的南极巡天望远镜(AST)已经成功地应用于南极冰穹A。讨论了ITO薄膜集成于反射膜系用于防霜的可行性、防霜反射镜的制备工艺以及防霜反射镜在不同加热功率下的面形变化情况。实验结果表明,集成了ITO薄膜的反射镜具有防霜功能且对镜面面形的影响较小,有望应用于南极大型反射式望远镜系统中。
薄膜 防霜反射镜 氧化铟锡薄膜 南极2.5 m光学红外望远镜 
光学学报
2017, 37(4): 0431002
作者单位
摘要
扬州乾照光电有限公司, 江苏 扬州 225101
应用电子束蒸镀氧化铟锡(ITO)薄膜, 在氮气环境中对ITO膜进行不同温度下快速热退火(RTA)处理。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)技术、扫描电子显微镜(SEM)、可见光分光谱仪、四探针测试仪测试了快速热退火处理对电子束蒸镀制备ITO薄膜的晶向、微结构、组分、光电特性的影响。分析结果表明, 退火温度升高, 有利于Sn释放5s轨道上的电子, Sn4+取代In3+形成新的化学键。此外, 退火温度升高还提升了Sn、In原子的结合能, 改变了Sn、In的氧化程度, 增加了ITO薄膜晶体的载流子浓度和迁移率, 改善了ITO薄膜晶体晶格畸变、缺陷密度与致密性, 促进晶格失配的恢复。在450 ℃温度下快速热退火可获得光电特性较好的ITO薄膜。
薄膜 氧化铟锡薄膜 快速热退火 微结构 光电特性 
激光与光电子学进展
2017, 54(1): 013102
作者单位
摘要
成都京东方光电科技有限公司, 四川 成都 611731
介绍了一种含有柱状隔垫物彩膜基板的剥离技术。采用层数顺序方法, 两步剥离工艺。第一步, 采用剥离液, 进行260 s, 迅速剥离柱状隔垫物层; 第二步, 刻蚀液进行650 s和剥离液进行650 s共同作用, 先后剥离玻璃基板上透明导电氧化铟锡层、颜色层, 挡光层。使之剥离后成为可以再次利用的干净白玻璃。
剥离技术 柱状隔垫物层 金属氧化铟锡 刻蚀液 剥离液 strip technology photo space layer indium tin oxide film etcher stripper 
液晶与显示
2013, 28(2): 220

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