中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
采用化学溶液分解法在n-GaAs(100)衬底上制备了Bi2Ti2O7薄膜.利用红外椭圆偏振光谱仪测量了波长为2.8~12.5μm范围内Bi2Ti2O7薄膜的椭偏光谱,采用Lorentz-Drude色散模型拟合获得Bi2Ti2O7薄膜的红外介电常数,并进一步计算得到折射率n、消光系数k和吸收系数α,拟合计算得到Bi2Ti2O7薄膜的厚度为139.2nm.
化学溶液分解法 Bi2Ti2O7薄膜 椭偏光谱 红外光学性质 chemical solution decomposition technique Bi2Ti2O7 thin fi infrared spectroscopic ellipsometry infrared optical properties
西北工业大学材料科学与工程学院, 陕西, 西安,710072
利用计算机对不同运动轨迹下ZnS头罩外表面膜厚分布进行了模拟,优化出头罩的最佳运动轨迹,在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射(RRFS)法进行头罩镀膜,能够得到满足使用要求的薄膜厚度均匀性.实验结果表明,头罩外表面薄膜厚度不均匀性小于10%,双面镀膜后,8~11.5μm波段平均透过率从69.6%提高到87.2%以上,透过率的不均匀性小于1.2%,满足了红外应用中对ZnS头罩的要求.
ZnS头罩 射频磁控溅射 厚度均匀性 红外光学性能 模拟. ZnS dome RF magnetron sputtering thickness uniformity infrared optical properties simulation.