山东理工大学 电气与电子工程学院,淄博 255049
为了研究噪声光对位置敏感探测器测量准确度的影响, 首先对3种噪声光进行了描述, 然后运用方差分析法建立了位置敏感探测器测量准确度的数学模型, 并对系统的误差进行了分析。结果表明, 实验数据和计算数据是一致的, 此实验结果证明了该数学模型的正确性。
探测器 横向光电效应 背景光 测量准确度 detectors lateral photo-electronic effect background light measurement accuracy
