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相同关键词【micro-and nanofiber pens】论文列表

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光学设计与制造

亚微米线条的微纳光纤笔直写技术研究

田丰 ^*杨国光白剑徐建锋梁宜勇

作者单位

摘要

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州 310027

提出了一种利用微纳光纤笔(MNFP)直接写入亚微米线条的技术,利用微纳光纤笔在光刻胶表面接触式扫描,从而曝光产生亚微米线条。热熔拉伸和湿法刻蚀两步工艺相结合的新方法被用来制做微纳光纤笔。实验研究表明,直写分辨率可以达到稳定的200 nm线宽。这一分辨率已经突破了曝光波长(442 nm)的衍射极限。结果也显示了,通过改变光强,微纳光纤笔可以直写曝光出亚微米范围内宽度可变的线条。

光学制造亚微米线条直接写入微纳光纤笔

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光学学报

2010, 30(1): 206