1 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710054
2 陕西省智能机器人重点实验室, 陕西 西安 710049
3 香港城市大学土木及建筑工程系, 香港 九龙 999077
碳纳米管因其独特的电学特性及一维纳米结构成为取代硅材料的重要电子材料,利用碳纳米管制备的微纳米电子器件具有尺寸小、响应快、功耗低等优点,但如何实现碳纳米管与金属电极之间可靠及有效的连接一直是构筑碳纳米管电子器件的难点与重点。针对该问题,首先,采用飞秒脉冲激光辐照技术诱导多壁碳纳米管与不同金属电极(金、镍)产生不同形式的连接;然后,通过测试互连前后多壁碳纳米管与金属电极之间的伏安特性曲线和界面接触电阻验证了该连接方法的可重复性及有效性,为后续大规模制备高性能碳纳米管场效应晶体管提供了一定的基础。
飞秒激光 多壁碳纳米管 金属电极 异质连接 电学性能
