1 深圳信息职业技术学院电子与通信学院, 广东 深圳 518172
2 华南师范大学广东省微纳光子功能材料与器件重点实验室, 广东 广州 510006
提出一种基于最小二乘迭代的多波长同时相移干涉测量方法。该方法可以在三个波长光波同时入射的同轴相移干涉测量系统中，对所有波长进行同时相移，通过单色CCD 采集一系列相移量未知的多波长同时相移干涉条纹图，利用最小二乘迭代算法提取出单个波长下的包裹相位分布。结合多波长光学位相解包和降噪处理得到合成波长的相位分布，进而测量出待测物体的三维形貌。对该方法进行了数值模拟和光学实验验证，结果表明该方法实验过程简便、测量精度高、抗噪能力强。
测量 相干光学 干涉术 相位测量 相移技术 多波长相移干涉术 最小二乘迭代算法
