奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法, 这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法, 但是在求解奇奇项方面使用的方法不同, 对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析, 并对100mm口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验, 将面形恢复结果与液面法测量结果对比, 结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm, N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm。结果表明存在重力影响时, N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法。仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响, 结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法。

绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约，可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较，运用泽尼克多项式前36项构建被测平面，对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感，对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中，旋转轴心对准误差应小于2 pixel，测量中心面积比取95%左右。