1 南昌航空大学江西省光电信息科学技术重点实验室，江西 南昌 330063
2 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230026
针对超高品质因子Q值光学微腔实验系统的光谱数据采集难题，设计了一款针对光学微腔的光谱信号采集系统。对光谱信号采集系统进行了基本功能验证，证明了系统的稳定性和实用性；分别测试了基于电弧放电法制备的光纤微球腔与基于超精密抛光法制备的氧化硅晶体微盘腔。采集了光纤微球腔和氧化硅晶体微盘腔的透射谱，并对其模式谱线进行追踪。结果表明：光纤微球腔的Q值达到2.26×106，氧化硅晶体微盘腔的Q值达到109；采集系统具有很好的消噪功能，模式谱线能长时间保持稳定。针对超高Q值光学微腔开发的光谱信号采集系统具有很高的可靠性，可用于微腔光子学系统以及后续微腔传感应用开发。
集成光学 光学微腔 光谱采集 微腔传感 品质因子
1 深圳大学物理与光电工程学院教育部/广东省光电子器件与系统重点实验室，广东 深圳 518060
2 深圳大学广东省光纤传感技术粤港联合研究中心，深圳市物联网光子器件与传感系统重点实验室， 广东 深圳 518060
随着光纤技术的发展，光纤器件的结构越来越复杂，功能越来越多样，体积也越来越小，这对光纤器件的加工提出了很大的挑战。飞秒激光双光子聚合方法具有突破光学衍射极限的超高加工精度和无掩模直写的真三维加工能力，在微纳结构加工中拥有独特优势，为微纳结构与光纤集成提供了一种全新的思路和可能性。介绍飞秒激光双光子聚合制备光纤微纳结构器件方向的最新研究进展、应用前景与展望。
激光与光电子学进展
2021, 58(13): 1306005
南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室, 天津 300071
为了实现在光纤环衰荡腔(FLRD)系统中的微量气体液体传感,提出了利用飞秒激光微纳加工的方法加工微流体传感装置。利用800 nm的飞秒激光脉冲在普通980 nm,1550 nm的单模光纤上实现了直写光学微腔,微腔的宽度达到4 μm,深度80 μm。将在单模光纤刻蚀的光学微腔成功应用于光纤环衰荡腔系统之中。针对光纤环衰荡腔的系统装置,分析了该系统的探测原理,并对该系统应用于微流体吸收探测中所探测的衰荡时间、损耗及待测流体浓度的关系进行理论推导。利用此系统,实现了对微量流体浓度的吸收谱高灵敏度探测。
传感器 光学微腔 飞秒激光 光纤环衰荡腔光谱
