1 中国科学院西安光学精密机械研究所，西安 710068
2 中国科学院研究生院，北京 100039
为了使光学仪器能在恶劣的环境下正常工作，需要对其进行详尽的工程分析。对光机系统的分析方法，包括传统分析方法、集成分析方法和统一分析方法进行了研究，说明了它们的工作原理及实现的具体步骤，分别列举了它们的优缺点。进一步指出在集成分析中热弹性分析需要解决的问题及Zernike多项式拟合中需要注意的问题，归纳了使用统一分析方法时需要特别注意的问题。在比较了3种方法优缺点的基础上，对光机分析方法进行了展望，得出集成分析方法在很长一段时间内将是光机系统分析的主要方法的结论。
光机系统分析 传统分析 集成分析 统一分析 有限元方法 opto-mechanical systems analysis traditional analysis integrated analysis unified analysis finite element methods
