1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033
2 中国科学院大学，北京 100049
针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题，提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后，通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉图间移相值，从而得出了电压值与移相值的对应关系曲线，通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整，完成移相器的精确标定。在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证，与Zygo干涉仪相比，相同元件下两者测量结果之差的RMS值为1.726 nm。该标定方法可以降低高精度面形测量干涉仪对移相器线性度的要求。
光学检测 干涉测量 移相器标定 非线性 optical test interferometry phase shifter calibration nonlinear
